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退火炉
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退火炉可以集成到其他炉子处理步骤中,例如氧化,或者可以自己处理。退火炉是由专门为加热半导体晶片而设计的设备完成的。退火炉是节能型周期式作业炉,超节能结构,采用纤维结构,贵州高温真空炉,节电60%。
真空退火炉
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料车推拉机构
1、点动减速机电机按钮,检查电机转向是否符合推拉方向要求;
2、把推拉杆挂上料车,启动按钮把料车在全程范围内跑动几次,检查各连接处、车轮及轴承处有无异常;
3、.检查推拉小车前后限位的动作情况是否正常;
4、检查炉门的开启和关闭有无卡塞现象;
退火炉
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1、退火温度是否达到规定温度。光亮退火炉一般是采取固溶热处理,也就是人们平常所谓的“退火”,温度范围为1040~1120℃(日本标准)。可以通过退火炉观察孔观察,退火区的不锈钢管应为白炽状态,但没出现软化下垂。
2、退火气氛。一般都是采用纯氢作为退火气氛,气氛纯度好是99.99%以上,如果气氛中另一部分是惰性气体的话,纯度也可以低一点,但是不能含有过多氧气、水汽。
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